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當前位置：首頁產品中心專用儀器儀表DP/S48 32/HMT熱式氣體質量流量控制器

熱式氣體質量流量控制器

產品簡介

熱式氣體質量流量控制器 型號；DP-S48 32/HMT

編號
項目
S48 32/HMT

1
流量規格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(1,2,3,5,10,20,30)L/min

產品型號：DP/S48 32/HMT
更新時間：2017-10-22
廠商性質：生產廠家
訪問量：1144

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tel-phone

010-51298264

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熱式氣體質量流量控制器    型號；DP-S48 32/HMT

編號

項目

S48 32/HMT

1

流量規格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(1,2,3,5,10,20,30)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態

常閉

4

安裝方向

意

5

流量控制范圍

2%-

6

流量測量范圍

(0-100)%

7

零點溫漂

0.6%F.S.(15~35℃)

8

響應時間 

2s(T98,設定值的±2%F.S.)

9

作環境溫度

5~50℃

10

度保證溫度

15~35℃

11

度

±1.0%F.S

12

線性

±0.5%F.S

13

重復度

±0.2%F.S

14

作壓差范圍

~5L/min:(0.05-0.3)MPa

10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa

15

耐壓

3MPa

16

漏率

1×10-8Pa.m3/s(He)

17

管路接頭

1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm

18

供電電源

±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA

19

設定信號

(0-5)VDC 

輸入阻抗>1MΩ

20

流量輸出信號

(0-5)VDC

負載輸出電流能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15

22

尺寸 (mm)

113（寬）×121（）×32（厚）

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